中國國際傳感器與微系統(tǒng)(MEMS)產(chǎn)品技術(shù)應(yīng)用展覽會

基本信息

在這個信息速度堪比光速的社會，準(zhǔn)確的大數(shù)據(jù)，才是智能的基礎(chǔ)。傳感器的出現(xiàn)，有利于獲取海量數(shù)據(jù)，賦予“智能”新的含義，讓一個漫長的“傳統(tǒng)工業(yè)”時代變得“鮮活”，步入感知世界。
　　近年來，智能手環(huán)、谷歌眼鏡等電子穿戴設(shè)備熱賣，智能開關(guān)、溫控器等智能家居興起，無人機等航空航天器材備受資本青睞……傳感器已滲透到各個領(lǐng)域。傳感技術(shù)的進(jìn)步不但可以提高智能時代的質(zhì)量水平，更能有力地促進(jìn)經(jīng)濟發(fā)展、社會“智慧”。近年來，隨著世界范圍內(nèi)信息技術(shù)的快速發(fā)展，傳感器與微系統(tǒng)(MEMS)產(chǎn)業(yè)是重中之重，發(fā)展傳感器與微系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)尤為重要。為了傳感器與微系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)健康良好的發(fā)展，推進(jìn)傳感器與微系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)在相關(guān)領(lǐng)域的應(yīng)用，主辦單位邀請各相關(guān)單位特舉辦“2016中國國際傳感器與微系統(tǒng)(MEMS)產(chǎn)品技術(shù)應(yīng)用展覽會”，旨在搭建國際傳感器與微系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的展示交流的平臺，促進(jìn)上下游全方位的合作，為加快發(fā)展我國戰(zhàn)略性傳感器與微系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)做貢獻(xiàn)。

展品范圍

1、MEMS器件
　　光學(xué)MEMS：反射、光量開關(guān)、掃描、微型構(gòu)件、微機械光學(xué)器件射頻MEMS、開關(guān)、振蕩器、過濾等；
　　射頻MEMS：開關(guān)，振蕩器/諧振器、過濾等；
　　MEMS傳感器：加速度計、軸傳感器、陀螺儀、壓力傳感器、重力傳感器、角速度傳感器、位移傳感器、觸摸傳感器、氣體傳感器、溫度傳感器、磁力計、磁傳感器、電子羅盤、濕度傳感器、流量傳感器、振動傳感器、電容傳感器、電學(xué)傳感器、傾角傳感器、機械傳感器、硅麥克風(fēng)、圖像傳感器、MEMS慣性傳感器、MEMS微鏡、MEMS慣性測量單元、BAW濾波器和雙工器、微射流、微流引導(dǎo)、微感應(yīng)器等；
　　MEMS執(zhí)行器：生物芯片、材料芯片、燈、泵、微流控芯片；
　　MEMS電能：燃料電池，微發(fā)電機等；
　　生物/化學(xué)MEMS：DNA/RNA技術(shù)，化學(xué)檢測等、MEMS晶振；
　
　　高復(fù)合型MEMS：CMOS/MEMS,LSI/MEMS一體化、MEMSIP等；
　
　　MEMS應(yīng)用：MEMS傳感器解決方案、麥克風(fēng),顯示等、超微型機械人裝置、微型工廠等、傳感器網(wǎng)絡(luò)、能量收集等；
　　2、生物MEMS與醫(yī)療應(yīng)用：MEMS技術(shù)在醫(yī)療處理及診斷方面的應(yīng)用、DDS、納米膠囊；尖端DNA&RNA技術(shù)、微反應(yīng)器、微流引導(dǎo)、微流控芯片等；
　　3、MEMS加工設(shè)備
　　光刻設(shè)備：半導(dǎo)體激光直寫光刻、投影掃描光刻機等、無掩膜光刻設(shè)備、曝光系統(tǒng)、雙面測試系統(tǒng)；
　　鍍膜設(shè)備：磁控濺射鍍膜設(shè)備、離子束濺射鍍膜設(shè)備、電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備、多弧離子鍍膜設(shè)備、真空鍍膜設(shè)備、涂層設(shè)備、薄膜成形、汽相淀積、濺射、光罩繪圖機；
　　沉積設(shè)備：GaN外延沉積用MOCVD設(shè)備；原子層沉積設(shè)備；等離子沉積設(shè)備；液態(tài)源沉積設(shè)備等；
　　刻蝕設(shè)備：反離子刻蝕設(shè)備、ICP刻蝕設(shè)備、MEMS干法/濕法工藝系統(tǒng)、深反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備等；
　　清洗設(shè)備設(shè)備：等離子清洗設(shè)備、UV-O3清洗設(shè)備、光掩膜清洗設(shè)備等；
　　晶圓片鍵合：晶圓切割、芯片/導(dǎo)線焊接、涂膠、勻膠、去膠設(shè)備、烘烤、顯影、對準(zhǔn)工藝設(shè)備、擴散爐、微成形(注射,熱壓)、離子注入機等其他生產(chǎn)設(shè)備等；
　　分析與檢測儀器：光罩缺陷檢測、半導(dǎo)體檢測設(shè)備、封裝檢測、表面分析儀器、粗糙度儀、粗糙度檢測儀、圓度儀、質(zhì)譜儀、硅片探針臺、掃描電子顯微鏡、薄膜厚度測量系統(tǒng)；顯微設(shè)備：光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡、探針顯微鏡、電子能譜儀；檢漏儀器、靜電負(fù)離子空氣凈化機；氣體分析及檢測、分析和測量系統(tǒng)等；
　　4、MEMS代工/封測：MEMS中式平臺；仿真設(shè)計、原型測試、產(chǎn)品開發(fā)、量產(chǎn)；其他代工服務(wù)：圖案形成、薄膜形成、雷射、離子脈沖加工、噴鍍；封裝：MEMS封裝、裝配、測試和校準(zhǔn)；

主辦信息

主辦單位：中華人民共和國商務(wù)部、中華人民共和國科學(xué)技術(shù)部、中華人民共和國國家知識產(chǎn)權(quán)局、上海市人民政府
　　支持單位：UNIDO聯(lián)合國工業(yè)發(fā)展組織、UNDP聯(lián)合國開發(fā)計劃署、WIPO世界知識產(chǎn)權(quán)組織
　　承辦單位：上海市國際技術(shù)進(jìn)出口促進(jìn)中心、中國機電產(chǎn)品進(jìn)出口商會、東浩蘭生集團上海外經(jīng)貿(mào)商務(wù)展覽有限公司、企榮（上海）展覽服務(wù)有限公司

聯(lián)系信息

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